优尔 晶圆划线软件
类别:
软件与控制系统
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2024-08-05 14:04
加工流程介绍：
1：CH1 面视觉定位计算角度、摆正晶圆片
2：测量晶圆平整度，生成 CH1 面焦距斜率补偿数据
3：CH1 面视觉定位计算沟道中心位置
4：综合中心位置以及 CH2 面焦距斜率补偿数据执行 CH1 面划线
5：CH1 面划线完成后旋转 90 度至 CH2 面
6：CH2 面视觉定位计算角度、摆正晶圆片
7：测量晶圆平整度，生成 CH2 面焦距斜率补偿数据
8：CH2 面视觉定位计算沟道中心位置
9：综合中心位置以及 CH2 面焦距斜率补偿数据执行 CH2 面划线
10：加工完成，各轴回下料指定位置
1：CH1 面视觉定位计算角度、摆正晶圆片
2：测量晶圆平整度，生成 CH1 面焦距斜率补偿数据
3：CH1 面视觉定位计算沟道中心位置
4：综合中心位置以及 CH2 面焦距斜率补偿数据执行 CH1 面划线
5：CH1 面划线完成后旋转 90 度至 CH2 面
6：CH2 面视觉定位计算角度、摆正晶圆片
7：测量晶圆平整度，生成 CH2 面焦距斜率补偿数据
8：CH2 面视觉定位计算沟道中心位置
9：综合中心位置以及 CH2 面焦距斜率补偿数据执行 CH2 面划线
10：加工完成，各轴回下料指定位置
C
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