美国初创公司xLight获2.9亿B轮融资制造强大EUV激光器

近日，美国的一家初创公司xLight近日宣布，公司已在B轮风险融资中筹集了4000万美元（折合人民币约2．9亿元）。该公司旨在将粒子加速器驱动的自由电子激光器（FEL）商业化用于半导体生产。

该公司表示，本次融资将使其能够开发下一代光源原型，该原型能够发射目前用于生产最先进半导体器件的极紫外（EUV）波长的光。该原型预计将于2028年投入使用。

虽然荷兰ASML凭借基于使用高功率二氧化碳和其他激光器组合产生的复杂等离子源的EUV光刻系统垄断了市场，但xLight的方法却有着根本的不同。

该公司声称：“我们已经设计并正在制造世界上最强大的FEL激光器，它将作为先进EUV光刻技术的新光源。我们的新光源将取代目前已接近物理极限的激光等离子体（LPP）光源。”

xLight表示，其FEL光源将能够产生比当前LPP系统多四倍的EUV功率，从而有可能提高未来半导体晶圆制造设施的生产率和产量。该方法还可用于从单一光源为多达20个ASML晶圆图案化系统提供EUV光，而当前一代EUV光刻系统则每个都需要自己的激光驱动源。

另一个关键优势是，FEL方法能够转换为比当今LPP系统产生的13．5nm光子更短的光波长。

尼古拉斯·凯莱兹现任xLight首席执行官兼首席技术官，曾担任直线加速器相干光源的首席工程师，该光源是斯坦福大学SLAC国家实验室用于超快科学的三英里长的无X射线电子设施。

他表示：“xLight的使命是为半导体制造打造一种变革性的新光源，以应对当今行业面临的关键挑战——成本、性能和产能。本轮融资将为公司提供完成详细设计并启动全尺寸原型构建所需的资金。

FEL使用最初由粒子加速器产生的电子，然后通过磁性“波荡器”产生高强度的相干光束。xLight 声称：“我们系统的可编程光特性将实现更短的光波长，这将使摩尔定律延续数十年”，并补充说它已经与ASML的“技术领导者”建立了工作关系。

这种联系可能要归功于英特尔前首席执行官帕特·基辛格，他现在既是xLight董事会的执行主席，又是风险投资公司Playground Global的普通合伙人，该公司领投了B轮投资，并且还投资了共同封装光学开发商Ayar Labs。

来源：OFweek激光网