英诺激光获深紫外腔外倍频装置专利，提高转换效率

6月3日消息，国家知识产权局信息显示，英诺激光科技股份有限公司获得一项名为“腔外倍频连续深紫外激光装置、系统及半导体检测系统”的专利（授权公告号：CN119852832B）。该专利的授权公告日为2026年5月29日，申请号为CN202411997901.2，申请日期为2024年12月31日，申请公布号为CN119852832A，申请公布日期同为2026年5月29日。发明人为赵晓杰、邹达、钟金成，专利代理机构为北京中知恒瑞知识产权代理有限公司，专利代理师陈晓川。专利涉及分类号包括H01S3/109、H01S3/00、H01S3/23、G01N21/01及G01N21/95。

专利摘要显示，本公开提供了一种腔外倍频连续深紫外激光装置、激光系统及半导体检测系统，该装置包括红外激光模块、绿激光模块及深紫外激光模块。红外激光模块用于产生目标连续红外激光；绿激光模块包括红外反射镜组件及第一转换组件，红外反射镜组件用于将目标连续红外激光的传输光路由第一红光光路转换为第二红光光路，第一转换组件用于对目标连续红外激光进行多通二次谐波转换，得到目标连续绿激光。深紫外激光模块包括绿光反射镜及第二转换组件，绿光反射镜用于将目标连续绿激光的传输光路由第一绿光光路转换为第二绿光光路，第二转换组件用于对目标连续绿激光进行多通四次谐波转换，得到目标连续深紫外激光。这样，可以降低技术实现难度，且提升转换效率。

英诺激光成立于2011年11月30日，于2021年7月6日在深圳证券交易所上市，注册地址和办公地址均为广东省深圳市。该公司是国内领先的微加工激光器及定制激光模组供应商，具备全产业链优势，投资价值凸显。

英诺激光主营业务为研发、生产和销售微加工激光器和定制激光模组，所属申万行业为机械设备 - 自动化设备 - 激光设备，涉及纳米压印、Chiplet概念、PCB概念等板块。

2025年，英诺激光实现营业收入5.13亿元，在行业10家公司中排名第10，远低于行业第一名大族激光的187.59亿元和第二名华工科技的143.55亿元，行业平均数为49.84亿元，中位数为26.68亿元。其主营业务中，激光器收入2.89亿元，占比56.38%；激光模组收入1.62亿元，占比31.48%；其他主营5330.64万元，占比10.38%；其他(补充)898.45万元，占比1.75%。净利润方面，2025年为4686.78万元，行业排名第6，远低于第一名华工科技的14.54亿元和第二名大族激光的13.18亿元，行业平均数为2.24亿元，中位数为1.04亿元。

来源：网易