跟随时，出现抖动严重。

原因分析：

①放大器外壳（或金属板）与机床接触不良。

②跟随之前没有进行电容标定或者标定结果不理想。

③吹气时板材抖动导致切割抖动。

④伺服驱动器刚性设置过大。

⑤机器干扰较大。

⑥滤波系数参数过大。

解决方案：

①保证放大器外壳（或金属板）与机床接触良好。

②重新进行电容标定。

③适当增加抖动滤波时间。

④减小伺服刚性。

⑤将调高器PGND与机器外壳连接，同时将外壳接到大地。

⑥适当减少滤波系数参数。